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BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

詳細(xì)介紹

好處

從 5 x 10^-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10^{-10^{Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍}}
在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染
長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型		BPG400
測(cè)量范圍（空氣、O₂、CO、N₂）		5×10^-10 … 1000
精度
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	±15
可重復(fù)性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤，有延伸件	°C	150
在法蘭處烘烤，無延伸件	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓		+20 … +28
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào)	V	0 … +10
測(cè)量范圍	V	+0.774 … +10
電壓與壓強(qiáng)	volts per decade	0.75
錯(cuò)誤信號(hào)	V	0.3 / 0.5
最小負(fù)載電阻	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護(hù)等級(jí)		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器：設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2
設(shè)定點(diǎn)繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器：繼電器觸點(diǎn)		n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點(diǎn)繼電器：觸點(diǎn)額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器：設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2
設(shè)定點(diǎn)繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器：繼電器觸點(diǎn)		n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點(diǎn)繼電器：觸點(diǎn)額定值		60
DeviceNet™ 電源電壓		+11 … +25
真空計(jì)電源電壓		+20 … +28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器		D-Sub, 15-pin, male

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列和現(xiàn)場(chǎng)總線

3）RS232C 操作 <>

零件號(hào)

BPG400
零件號(hào)	明細(xì)
353-500	BPG400 規(guī)管
353-501	BPG400 規(guī)管
353-502	BPG400 規(guī)管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	復(fù)合真空規(guī)
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490	BPG400 備用傳感器
354-491	BPG400 備用傳感器
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

附件

BPG400
零件號(hào)	明細(xì)
353-511	BPG400 24V電源
353-510	100 mm sensor extension tube
353-512	Baffle for BPG400
211-113	中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BPG400
零件號(hào)	明細(xì)
354-490	BPG400 備用傳感器
354-491	BPG400 備用傳感器
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display