OPTM 系列顯微分光膜厚儀

 •  使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過*對(duì)反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

•  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了 即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。

•  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

•  通過顯微光譜法測量高精度*對(duì)反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

•  1點(diǎn)1秒高速測量

•  顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

•  區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

•  易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

•  獨(dú)立測量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求

•  支持各種自定義

測量項(xiàng)目：

•  *對(duì)反射率測量

•  多層膜解析

•  光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

OPTM 系列顯微分光膜厚儀