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SU7000-超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡

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廣州市君翔儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時接收多種信號。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。SU7000是一臺實現(xiàn)了信息獲取量的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。*上圖為包含選配項的SU7000示意圖。參數(shù)規(guī)格：項目內(nèi)容圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV0.9 nm/1 kV放大倍率20～2,000,000 x電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）加速電壓0.1～30 kV （步進：0.01 kV）束流200 nA探測器標(biāo)準(zhǔn)探測器UD （上探測器)MD （中探測器）LD （下探測器)選配探測器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器）UVD（高靈敏度低真空探測器）低真空模式*1樣品倉壓力范圍5～300 Pa可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD馬達臺馬達臺控制5軸馬達驅(qū)動移動范圍X0～135 mmY0～100 mmZ（WD）1.5～40 mmT（傾斜角）-5～70°R（旋轉(zhuǎn)角）360°樣品尺寸直徑：φ200 mm, 高度：80 mm顯示器*123英......

詳細介紹

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時接收多種信號。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。
SU7000是一臺實現(xiàn)了信息獲取量的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。
接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。
*上圖為包含選配項的SU7000示意圖。

參數(shù)規(guī)格：

項目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進：0.01 kV）
	束流		200 nA
探測器	標(biāo)準(zhǔn)探測器		UD （上探測器)
			MD （中探測器）
			LD （下探測器)
	選配探測器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器）
	選配探測器*1		UVD（高靈敏度低真空探測器）
低真空模式*1	樣品倉壓力范圍		5～300 Pa
低真空模式*1	可使用探測器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達臺	馬達臺控制		5軸馬達驅(qū)動
	移動范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		直徑：φ200 mm, 高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰極熒光探測器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺

*1為選配項。*2支持雙屏顯示。

產(chǎn)品特點：

核心理念

采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。
支持不同形狀樣品、多種觀察方法
?大型樣品觀察
?低真空觀察
?超低溫觀察
?實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。
支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息的檢測系統(tǒng)

隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品：包裹有機物的金屬棒

樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應(yīng)用實例（加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現(xiàn)了獲取信息的。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計

優(yōu)化信號顯示功能

成像單元在信號顯示上也作了全新升級。
單屏最多可同時顯示4通道信號。
使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局

使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。